虽然“微加工（micro machining）”这一术语可用于表示在极小尺度范围内完成的各种加工操作，但圣地亚国家实验室的研究人员却避免将他们进行的微小尺度车削和铣削加工称为“微加工”。他们认为，在“加工”一词前面冠以“微（micro）”的前缀，则表示用该加工方法可加工出尺寸小至1μm的工件形貌，而该实验室目前还做不到这一点——至少在车削和铣削加工上还达不到这一水平，目前他们研制的微型刀具能够加工出的工件形貌尺寸最小可达到25μm。换句话说，虽然他们已达到的加工尺度水平还不能称为“微加工”，但已比几乎任何其它金属切削加工车间都更接近“微加工”的目标。圣地亚国家实验室的研究人员将这种尺度水平的加工称为“亚微加工（meso-machining）”。

    亚微加工所用的微型铣刀和微型车刀是采用聚焦离子束对硬质合金和高速钢刀坯材料进行雕蚀加工而成。用该方法制造的微型立铣刀的直径可小至约20μm；微型车刀的宽度可小至约10μm。这种微型刀具是实现亚微加工所必不可少的关键工艺因素，因为目前在机床上使用这种微型刀具的适用加工技术已基本成熟。在圣地亚国家实验室，虽然仍然需要全力开发亚微切削实验所用的微型刀具，但实验所用加工机床已完全具备了使用微型刀具的技术条件。研究人员利用市场上机床供货商提供的精密加工机床，即可有效地使用微型刀具进行亚微切削加工。

    美国开展亚微加工研究的一个主要原因与核武器有关。美国现存核武器上的某些零件需要经常更换，并且需要对这些零件的结构形貌不断进行改进。但是，因为核武器上的各个零件与周围其它零件之间都有不允许改变的装配关系，所以每一个零件的尺寸和外形都必须保持固定不变。因此，为了在零件上增加新的结构形貌，惟一的途径就是将更多结构微缩于现有空间之中，而亚微加工可以成为实现这一目标的一种有效手段。

    圣地亚国家实验室通过大量实验研究，已可在包括铝、黄铜、4340钢等材料上成功地铣削出宽度20～30μm的槽，典型切削深度为1μm。该实验室用一把φ22μm硬质合金双刃立铣刀进行的切削实验表明，在切深1μm、转速18000r/min的切削条件下加工铝件时，微型立铣刀能以最大至50mm/min的进给率进行有效切削，刀具铣削时间超过6小时以上，且在整个进给率变化范围内未发生刀具破损现象。